計測と制御 2002年11月号

VOL.41 2002

ミニ特集「高精度加工を実現するための計測制御技術」

 近年,携帯電話や携帯端末などの電子機器は,ますます小型化,高機能化が進んでいるが,それらの製造技術においては,超高精度,超微細加工を実現するための計測制御技術が不可欠となっている.たとえば,工作機械における機械系のモデリングや加工のモデル化技術,さらにはサブミクロンの位置決め制御や加工プロセスの高度な制御などがあげられる.本ミニ特集では,超精密微細加工を実現するための計測制御技術について,最新動向およびその事例について紹介することで,工作機械分野で要求される将来的な計測制御技術について多くの技術者に興味を促したいと考える.特に,制御対象のモデリング,制御系設計,計測,加工結果までの全体像をわかりやすく解説することを目指す.

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