計測と制御 2003年1月号

VOL.42 2003

特集「マイクロマシン−実用化とナノ領域への展開−」

 マイクロマシン技術は,これからの社会に対し,さまざまの分野で不可欠の基盤技術となることが予想され,各国の大学や企業で国を挙げての研究が推進されている.本特集号では,最近の技術の現状をまとめ,実用上有望な応用分野について,研究の現状と今後の展望を紹介する.まず,薄膜の微細加工,基板の高アスペクト比加工(幅に対し深さの深い加工),張り合わせ等を組み合わせた複合プロセスや,数十ナノメートルの構造を作るナノ加工,など最近のマイクロ製作技術を紹介し,つぎに主要デバイスであるアクチュエータの高度化と制御について解説する.応用として最近注目されているナノテクノロジーについて,ナノプローブ,マイクロ・ナノ化学システム,バイオ応用マイクロマシンなどを紹介する.さらに,産業応用として,センサ,分光器,情報機器への応用例を示す.なお,応用例も最新のものに絞る予定である.

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