計測と制御 ２００６年２月号

特集「ナノテクノロジーのための計測技術」 ナノテクノロジー技術の進展とともに， エレクトロニクス分野やメカトロニクス分野においては 原子レベルで制御された材料・デバイスの構築が試みられている． これらの技術においては，同時にナノスケールでの計測・制御技術が不可欠である． 本特集では，ナノテクノロジーのための計測・制御技術と今後の展望を紹介する． ⇒ 目次

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