半導体デバイスの高速化・高集積化のニーズに対応して,回路パターンの微細化,高密度化が進んだ。迅速な生産立ち上げや安定量産を実現するため,検査・計測技術の高度化が強く求められている. 本発表では走査電子顕微鏡(SEM)画像からPhotometric stereoの原理に基づいて,回路パターンの三次元形状を高精度に推定する画像処理技術について紹介する.SEM による微細パターンの三次元形状解析は挑戦的な課題であり,実用化に向けた取り組みを推進している.
支部長 | 山本 雅人 | 北海道大学大学院情報科学研究科情報理工学専攻 |
支部運営委員 | 飯塚 博幸 | 北海道大学大学院情報科学研究科情報理工学専攻 |
梅村 敦史 | 北見工業大学電気電子工学科 | |
江丸 貴紀 | 北海道大学大学院工学研究院人間機械システムデザイン部門 | |
鈴木 慎一 | 北海道立総合研究機構工業試験場情報システム部 | |
湯浅 友典 | 室蘭工業大学もの創造系領域 | |
会計監査 | 田中 孝之 | 北海道大学大学院情報科学研究科システム情報科学専攻 |
支部顧問 | 相津 佳永 | 室蘭工業大学工学部もの創造系領域 |
魚住 超 | 室蘭工業大学工学部もの創造系領域 | |
榮坂 俊雄 | 北見工業大学情報システム工学科 | |
大村 功 | 北海道立総合研究機構工業試験場情報システム部 | |
岡 和彦 | 北海道大学大学院工学研究院応用物理学部門 | |
小林 幸徳 | 北海道大学大学院工学研究院人間機械システムデザイン部門 | |
塩谷 浩之 | 室蘭工業大学工学部しくみ情報系領域 | |
鈴木 幸司 | 室蘭工業大学工学部しくみ情報系領域 | |
高井 信勝 | 北海学園大学工学部電子情報工学科 | |
永野 宏治 | 室蘭工業大学工学部しくみ情報系領域 | |
花島 直彦 | 室蘭工業大学工学部もの創造系領域 | |
馬場 直志 | 北海道大学大学院工学研究院応用物理学部門 | |
三上 貞芳 | 公立はこだて未来大学複雑系知能学科 | |
山下 裕 | 北海道大学大学院情報科学研究科システム情報科学専攻 | |
鈴木 恵二 | 北海道大学大学院情報科学研究科情報理工学専攻 | |
須藤 秀紹 | 室蘭工業大学もの創造系領域 | |
川村 武 | 北見工業大学電気電子工学科 | |
支部名誉顧問 | 大塲 良次 | 北海道大学名誉教授 |
神谷 祐二 | 北見工業大学名誉教授 | |
島 公脩 | 北海道大学名誉教授 | |
土谷 武士 | 北海道大学名誉教授 | |
疋田 弘光 | 室蘭工業大学名誉教授 | |
河原 剛一 | 北海道大学名誉教授 | |
深谷 健一 | 北海学園大学名誉教授 | |
会誌編集委員 | 飯塚 博幸 | 北海道大学大学院情報科学研究科情報理工学専攻 |